1、单晶结构：结晶体内部的微粒在三维空间呈有规律地、周期性地排列，或者说晶体的整体在三维方向上由同一空间格子构成，整个晶体中质点在空间的排列为长程有序。2.多晶结构多晶结构薄膜是由若干尺寸大小不等的晶粒所组成。晶粒尺寸一般在10-100nm，亦称为微晶薄膜。在薄膜形成过程中生成的小岛就具有晶体的特征（原子有规则的排列）。由众多小岛聚结形成薄膜就是多晶薄膜。真空蒸发与溅射法制成的薄膜多属于这种结构。3、非晶结构（无定形结构或玻璃态结构）它是一种近程有序结构。就是2～3个原子距离内原子排列是有序的，大于这个距离排列是杂乱无规则的；无定形结构薄膜在环境温度下是稳定的；它或是具有不规则的网络结构（玻璃态，或是具有随机密堆积的结构。前者主要出现在氧化物薄膜、元素半导体薄膜和硫化物薄膜之中，后者主要出现合金薄膜之中）。