加热炉

　　1、加热工件尺寸：直径102mm以下，厚度0.5mm以下，材料为蓝宝石。工件水平面定位误差1mm以下。

　　2、加热炉内工件平面位置：温度>800°C（连续可调）,控制精度正负10°C。

　　3、加热炉顶端需加玻璃视窗，透过355nm激光，激光透过率95%以上，视窗口直径不能小于100mm.

　　4、玻璃视窗上表面与定位后的工件表面平行度0.05mm。

　　5、炉内要求密封，须有两个进出气口，一个用于加压缩氮气，一个用于抽真空。

　　6、炉内真空度：10Pa

　　7、工作流程：打开炉门，上工件，关闭炉门，加压缩氮气和抽真空，达到真空度后停止加氮气和抽真空，分段加热达到设定温度并恒温，给外部设备信号开始激光剥离，剥离完毕加热炉开始降温，降温过程加氮气至炉内到常压状态，降温至100°C左右可取出工件。进入下一个循环。

　　8、温度控制和气体控制部分由供应商提出方案，由我方集成在主设备中。

　　9、工件需于正面用托料装置进出。

　　10、加热炉外壳温度低于60°C（上部玻璃视窗温度不受此约束）。

　　11、电气绝缘良好。

　　12、外部尺寸尽可能小，希望控制在φ300*h200以内。

　　如有任何疑问或建议请来电或邮件联系。