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化学气相沉积炉应用领域
化学气相沉积炉（沉积炭）可用于以碳氢气体（如C3H8等）为碳源的复合材料的化学气相沉积，如C/C复合材料、SiC复合材料等的CVD、CVI处理。
化学气相沉积炉产品规格
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产品型号/规格W×H×L(mm)
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600*600*1000
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800*800*1200
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1000*1000*1500
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1200*1200*2500
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1500*1500*3000
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2500*2000*3600
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装载重量(KG)
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350
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800
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1500
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2500
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5000
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10000
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最高温度(℃)
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1500
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1500
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1500
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1500
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1500
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1500
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温度均匀性(℃)
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±7.5
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±7.5
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±7.5
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±10
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±10
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±15
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加热功率(kw)
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250
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360
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480
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600
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900
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1200
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极限真空度(Pa)
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20
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20
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20
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20
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20
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20
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压升率(Pa/h)
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0.67
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0.67
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0.67
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0.67
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0.67
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0.67
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以上化学气相沉积炉参数可以根据工艺要求进行调整，不作为验收依据，具体以技术方案和协议为准。
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化学气相沉积炉主要配置
u 炉门：丝杠升降//液压升降/手动升降；手动锁紧/自动锁圈锁紧
u 炉壳：全碳钢/内层不锈钢/全不锈钢
u 炉胆：软碳毡/软石墨毡/硬质复合毡/CFC
u 加热器：等静压石墨/模压三高石墨/细颗粒石墨
u 工艺气路系统：体积/质量流量计；手动阀/自动阀；进口/国产
u 真空泵和真空计---进口/国产
u PLC：欧姆龙/西门子
u 控温仪表：日本岛电/英国欧陆
u 热电偶：C分度号/S分度号/K分度号/N分度号
u 记录仪：无纸记录仪/有纸记录仪；进口/国产
u 人机界面：模拟屏/触摸屏/工控机
u 电器元件：正泰/施耐德/西门子
u 料车：滚道式/叉车式/叠加式超长传输料车
化学气相沉积炉技术特征
n 本化学气相沉积炉最大工作区尺寸可达2.5m×2m×4.5m，能满足超大型工件化学气相沉积处理需求；
n 本化学气相沉积炉采用多温区独立控温，温度均匀性好；
n 本化学气相沉积炉采用特殊结构沉积室，密封效果好，抗污染能力强；
n 本化学气相沉积炉采用多通道沉积气路，流场均匀，无沉积死角，沉积效果好；
n 本化学气相沉积炉对炭沉积过程中产生的焦油、固体粉尘、有机气体等能进行有效处理。